科研方向
当一束电子入射到样品表面时,除了激发出各种辐射之外,还会激发出各种粒子,
如俄歇电子、背散射电子、二次电子等。利用探测器接收这些电子流,分析其中的
Auger能谱,就可以得到表面的组成成分、各元素比例在内的各种信息,原则上来
说,任何固体样品都可以用Auger能谱进行分析,其对表面浓度的分析可以达到
0.01%,另外它还具有分析速度快的优势。
1925年,Auger在Wilson云室内首次观察到Auger电子的迹象,他正确解释了这种电
子的来源,俄歇电子(Auger)由此得名。1967年,Harris采用电子能量分布微分
方法,使二次电子能量分布曲线本底上的俄歇峰同本底分离开来,从此,俄歇电子
能谱成为一种有效的分析方法。进入七十年代之后,俄歇电子能谱分析逐渐发展成
为一种强有力的分析方法。但在这个领域,现在还期待有新的模型,以便从测量信
号中得到更为精确表面信息。
我们的工作目的是通过科学计算进一步修正所测Auger信号与表面各原子浓度之间
的定量关系。探测器在样品表面所测得的Auger电流大小是一个与激发截面、出射
截面、入射电流以及背散射因子成正比的物理量。入射电子在不断散射的过程中,
在发生非弹性散射的情况下,有几率激发出Auger电子,但同时,散射产生的背散
射电子也有可能激发出一部分Auger电子。背散射因子(backscattering factor)
就是反映了背散射电子激发对整个激发过程的贡献,它是精确修正所必需的物理量
之一。在处理大量随机事件是利用Monte Carlo方法,并通过模拟大量粒子的散射
过程得出所需数据,现在,我从事背散射因子的计算。
目前思路是通过计算在入射电子散射过程中的激发深度分布函数和在Auger电子出
射过程中的发射深度分布函数来得到背散射因子r。
编程的语言环境:
Compaq Visual FORTRAN 6.5.0