科研方向

1.扫描电镜的图像锐度及分辨率测量模拟研究

图像分辨率是定量表征扫描电子显微镜(SEM)的一个主要参数,而且在纳米材料制备及计量等领域都非常重要。近年来,许多方法被提出用于准确、客观、自动地测量SEM图像分辨率,如傅立叶变换法、自关联函数法、衬度梯度法等。然而,用于分辨率测量的标准方法还在探讨之中。我们的目标是,利用Monte Carlo方法模拟扫描电镜成像,以寻求一种准确、客观、自动地测量SEM图像分辨率方法。

2.STEM中二次电子的原子级分辨像模拟研究

单原子直接成像或它们在样品表面的排列及与样品内部的相互作用,长期被认为是显微学研究中一个极为必要的课题而又是巨大的挑战。2009年,美国Brookhaven国家实验室首席科学家朱溢眉教授及其团队发现STEM中二次电子信号的分辨率可以达到晶格及单个原子量级,引发广大讨论。二次电子成像达到原子级分辨率是电子显微学中非常重大的突破,其成像机制的理论探讨和实验工作都还有待于深入进行。我们试图用Monte Carlo模拟方法探讨二次电子像达到原子级分辨率的理论解释。