Table 1 Auger transitions and values of parameters used in calculations of the backscattering factor _____________________________________________________________________________________ Kinetic energy Ionization energy Pure element Atomic number Auger transition (keV) (keV) _____________________________________________________________________________________ Li 3 LVV 0.053 0.055 _____________________________________________________________________________________ Table 2 The backscattering factors for quantitative analysis by auger electron spectroscopy(AES) ____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ Emission angle (deg) Primary energy Incident angle __________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ (keV) (deg) 0. 5. 10. 15. 20. 21. 22. 23. 24. 25. 26. 27. 28. 29. 30. 40. 45. 50. 55. 60. 65. 70. 75. 80. 81. 82. 83. 84. 85. 86. 87. 88. 89. ____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ 0.1 0. 0.72586 0.73019 0.72982 0.72948 0.72857 0.72829 0.72805 0.72782 0.72768 0.72719 0.72686 0.72658 0.72618 0.72598 0.72541 0.71981 0.71591 0.71048 0.70417 0.69689 0.68895 0.68049 0.67241 0.66622 0.66486 0.66423 0.66308 0.66329 0.66198 0.66085 0.66044 0.66065 0.65975 0.1 10. 1.01176 1.01256 1.01403 1.01619 1.01943 1.02019 1.02095 1.02172 1.02253 1.02346 1.02423 1.02527 1.02618 1.02718 1.02818 1.03941 1.04574 1.05235 1.05897 1.06525 1.07126 1.07656 1.08095 1.08419 1.08471 1.08518 1.08561 1.08586 1.08616 1.08651 1.08670 1.08692 1.08655 0.1 20. 1.00419 1.00505 1.00663 1.00896 1.01245 1.01327 1.01409 1.01492 1.01581 1.01680 1.01764 1.01876 1.01975 1.02083 1.02191 1.03411 1.04101 1.04825 1.05553 1.06247 1.06915 1.07508 1.08003 1.08370 1.08430 1.08484 1.08533 1.08562 1.08596 1.08636 1.08657 1.08683 1.08642 0.1 30. 0.99062 0.99159 0.99336 0.99599 0.99992 1.00085 1.00177 1.00272 1.00371 1.00484 1.00579 1.00706 1.00818 1.00940 1.01064 1.02456 1.03250 1.04089 1.04941 1.05761 1.06557 1.07273 1.07879 1.08335 1.08411 1.08478 1.08540 1.08576 1.08620 1.08670 1.08697 1.08727 1.08679 0.1 40. 0.96598 0.96713 0.96919 0.97227 0.97688 0.97799 0.97906 0.98018 0.98134 0.98269 0.98381 0.98530 0.98663 0.98809 0.98956 1.00620 1.01580 1.02603 1.03655 1.04680 1.05687 1.06605 1.07395 1.07998 1.08098 1.08188 1.08271 1.08320 1.08379 1.08446 1.08481 1.08521 1.08460 0.1 45. 0.94820 0.94947 0.95171 0.95507 0.96011 0.96133 0.96250 0.96372 0.96499 0.96647 0.96770 0.96933 0.97079 0.97240 0.97401 0.99239 1.00304 1.01448 1.02629 1.03789 1.04935 1.05987 1.06900 1.07601 1.07718 1.07823 1.07919 1.07978 1.08046 1.08125 1.08166 1.08211 1.08142 0.1 50. 0.92443 0.92588 0.92834 0.93206 0.93763 0.93900 0.94029 0.94164 0.94306 0.94470 0.94607 0.94788 0.94951 0.95131 0.95312 0.97374 0.98580 0.99885 1.01244 1.02593 1.03938 1.05184 1.06279 1.07128 1.07271 1.07399 1.07516 1.07588 1.07672 1.07769 1.07818 1.07872 1.07792 0.1 60. 0.84813 0.85002 0.85296 0.85751 0.86427 0.86599 0.86754 0.86920 0.87093 0.87297 0.87466 0.87686 0.87889 0.88114 0.88340 0.90939 0.92489 0.94198 0.96015 0.97862 0.99742 1.01531 1.03147 1.04430 1.04650 1.04847 1.05027 1.05140 1.05273 1.05422 1.05495 1.05574 1.05462 0.1 70. 0.70959 0.71207 0.71541 0.72071 0.72856 0.73061 0.73238 0.73435 0.73634 0.73879 0.74079 0.74335 0.74578 0.74848 0.75120 0.78286 0.80228 0.82424 0.84829 0.87359 0.90016 0.92638 0.95105 0.97134 0.97492 0.97808 0.98101 0.98292 0.98514 0.98755 0.98865 0.98992 0.98827 0.1 75. 0.59705 0.59988 0.60325 0.60867 0.61660 0.61873 0.62050 0.62255 0.62455 0.62707 0.62914 0.63175 0.63426 0.63706 0.63988 0.67311 0.69388 0.71773 0.74446 0.77326 0.80414 0.83541 0.86569 0.89122 0.89581 0.89984 0.90359 0.90608 0.90901 0.91209 0.91341 0.91506 0.91303 0.1 80. 0.45116 0.45359 0.45659 0.46148 0.46864 0.47058 0.47215 0.47404 0.47585 0.47815 0.48008 0.48243 0.48475 0.48733 0.48993 0.52096 0.54082 0.56397 0.59059 0.62004 0.65244 0.68633 0.72025 0.74984 0.75526 0.75997 0.76451 0.76758 0.77109 0.77466 0.77602 0.77821 0.77583 0.1 81. 0.41660 0.41891 0.42178 0.42647 0.43333 0.43519 0.43668 0.43851 0.44024 0.44246 0.44431 0.44657 0.44880 0.45128 0.45379 0.48376 0.50305 0.52559 0.55167 0.58071 0.61285 0.64671 0.68085 0.71087 0.71639 0.72117 0.72583 0.72898 0.73257 0.73618 0.73754 0.73984 0.73737 0.1 82. 0.37852 0.38067 0.38339 0.38780 0.39428 0.39603 0.39743 0.39917 0.40080 0.40290 0.40466 0.40679 0.40891 0.41126 0.41363 0.44215 0.46060 0.48223 0.50744 0.53568 0.56713 0.60055 0.63452 0.66465 0.67021 0.67503 0.67975 0.68296 0.68659 0.69020 0.69153 0.69395 0.69140 0.1 83. 0.33968 0.34165 0.34418 0.34828 0.35431 0.35594 0.35724 0.35886 0.36039 0.36235 0.36400 0.36598 0.36796 0.37015 0.37237 0.39912 0.41654 0.43700 0.46102 0.48812 0.51848 0.55101 0.58436 0.61419 0.61971 0.62451 0.62924 0.63245 0.63608 0.63962 0.64093 0.64343 0.64080 0.1 84. 0.29823 0.29999 0.30231 0.30603 0.31153 0.31301 0.31418 0.31567 0.31707 0.31886 0.32037 0.32218 0.32400 0.32599 0.32802 0.35260 0.36871 0.38767 0.41011 0.43561 0.46437 0.49546 0.52764 0.55669 0.56206 0.56678 0.57143 0.57460 0.57817 0.58157 0.58283 0.58542 0.58268 0.1 85. 0.25477 0.25628 0.25835 0.26162 0.26651 0.26783 0.26885 0.27017 0.27143 0.27302 0.27436 0.27596 0.27759 0.27935 0.28116 0.30310 0.31760 0.33470 0.35509 0.37843 0.40494 0.43387 0.46412 0.49168 0.49676 0.50128 0.50574 0.50880 0.51220 0.51537 0.51658 0.51920 0.51636 0.1 86. 0.20990 0.21117 0.21293 0.21570 0.21990 0.22103 0.22188 0.22301 0.22410 0.22546 0.22661 0.22797 0.22938 0.23088 0.23244 0.25131 0.26390 0.27874 0.29661 0.31723 0.34080 0.36678 0.39424 0.41950 0.42413 0.42834 0.43246 0.43532 0.43846 0.44126 0.44243 0.44500 0.44206 0.1 87. 0.16366 0.16467 0.16608 0.16830 0.17173 0.17264 0.17332 0.17422 0.17512 0.17623 0.17715 0.17825 0.17940 0.18060 0.18188 0.19722 0.20756 0.21976 0.23459 0.25182 0.27166 0.29377 0.31743 0.33937 0.34336 0.34710 0.35069 0.35324 0.35598 0.35830 0.35940 0.36180 0.35880 0.1 88. 0.11736 0.11816 0.11918 0.12080 0.12338 0.12408 0.12455 0.12521 0.12592 0.12674 0.12742 0.12823 0.12910 0.12996 0.13093 0.14236 0.15018 0.15936 0.17067 0.18389 0.19924 0.21652 0.23525 0.25276 0.25592 0.25899 0.26183 0.26394 0.26613 0.26785 0.26886 0.27092 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