Cylindrical mirror analyzer(CMA) Table 1 Auger transitions and values of parameters used in calculations of the backscattering factor _____________________________________________________________________________________ Kinetic energy Ionization energy Pure element Atomic number Auger transition (keV) (keV) _____________________________________________________________________________________ Al 13 LVV 0.068 0.072 _____________________________________________________________________________________ Table 2 The backscattering factors for quantitative analysis by auger electron spectroscopy(AES) ____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ Tilt angle (deg) Primary energy Incident angle __________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ (keV) (deg) 0. 5. 10. 15. 20. 21. 22. 23. 24. 25. 26. 27. 28. 29. 30. 40. 45. 50. 55. 60. 65. 70. 75. 80. 81. 82. 83. 84. 85. 86. 87. 88. 89. ____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ 1.0 0. 1.72835 1.72834 1.72831 1.72829 1.72836 1.72837 1.72840 1.72845 1.72849 1.72855 1.72862 1.72869 1.72877 1.72888 1.72899 1.73077 1.73172 1.73204 1.73146 1.73008 1.72803 1.72539 1.72220 1.71848 1.71770 1.71687 1.71604 1.71519 1.71433 1.71346 1.71257 1.71167 1.71075 1.0 10. 1.72929 1.72928 1.72925 1.72924 1.72930 1.72932 1.72935 1.72939 1.72944 1.72950 1.72956 1.72964 1.72972 1.72982 1.72993 1.73168 1.73262 1.73294 1.73237 1.73100 1.72899 1.72640 1.72327 1.71961 1.71883 1.71802 1.71721 1.71637 1.71553 1.71467 1.71379 1.71292 1.71201 1.0 20. 1.74576 1.74575 1.74573 1.74571 1.74578 1.74580 1.74584 1.74588 1.74593 1.74599 1.74605 1.74613 1.74621 1.74631 1.74643 1.74819 1.74914 1.74945 1.74887 1.74750 1.74547 1.74286 1.73970 1.73603 1.73525 1.73443 1.73361 1.73277 1.73192 1.73106 1.73018 1.72929 1.72839 1.0 30. 1.76114 1.76113 1.76110 1.76108 1.76114 1.76116 1.76119 1.76123 1.76128 1.76134 1.76140 1.76148 1.76156 1.76167 1.76178 1.76355 1.76450 1.76482 1.76424 1.76286 1.76083 1.75819 1.75502 1.75131 1.75052 1.74970 1.74887 1.74803 1.74717 1.74630 1.74541 1.74452 1.74360 1.0 40. 1.78524 1.78523 1.78520 1.78517 1.78523 1.78524 1.78527 1.78531 1.78536 1.78541 1.78547 1.78555 1.78563 1.78573 1.78584 1.78761 1.78857 1.78890 1.78832 1.78694 1.78490 1.78226 1.77906 1.77534 1.77455 1.77372 1.77289 1.77203 1.77117 1.77030 1.76940 1.76850 1.76758 1.0 45. 1.79488 1.79486 1.79482 1.79478 1.79482 1.79483 1.79485 1.79489 1.79493 1.79498 1.79504 1.79511 1.79519 1.79529 1.79540 1.79714 1.79810 1.79843 1.79786 1.79650 1.79447 1.79184 1.78867 1.78496 1.78417 1.78334 1.78251 1.78166 1.78080 1.77993 1.77903 1.77813 1.77721 1.0 50. 1.80387 1.80385 1.80380 1.80374 1.80375 1.80376 1.80378 1.80381 1.80384 1.80389 1.80394 1.80400 1.80408 1.80417 1.80427 1.80593 1.80686 1.80719 1.80665 1.80534 1.80339 1.80087 1.79780 1.79422 1.79345 1.79265 1.79185 1.79102 1.79019 1.78934 1.78847 1.78760 1.78671 1.0 60. 1.80247 1.80243 1.80234 1.80221 1.80213 1.80212 1.80211 1.80212 1.80213 1.80215 1.80217 1.80221 1.80225 1.80231 1.80237 1.80368 1.80447 1.80477 1.80437 1.80332 1.80173 1.79966 1.79713 1.79414 1.79350 1.79283 1.79215 1.79145 1.79075 1.79003 1.78929 1.78855 1.78778 1.0 70. 1.73705 1.73699 1.73682 1.73657 1.73626 1.73620 1.73614 1.73608 1.73602 1.73596 1.73591 1.73587 1.73582 1.73578 1.73574 1.73573 1.73593 1.73610 1.73614 1.73606 1.73587 1.73557 1.73513 1.73454 1.73439 1.73424 1.73408 1.73391 1.73374 1.73356 1.73337 1.73317 1.73295 1.0 75. 1.63109 1.63103 1.63084 1.63056 1.63015 1.63005 1.62995 1.62985 1.62974 1.62963 1.62952 1.62940 1.62928 1.62915 1.62902 1.62762 1.62713 1.62708 1.62758 1.62855 1.62990 1.63157 1.63352 1.63569 1.63613 1.63659 1.63705 1.63750 1.63796 1.63842 1.63888 1.63933 1.63979 1.0 80. 1.39330 1.39329 1.39325 1.39316 1.39287 1.39280 1.39271 1.39260 1.39247 1.39234 1.39219 1.39202 1.39183 1.39161 1.39139 1.38806 1.38640 1.38590 1.38700 1.38952 1.39319 1.39792 1.40360 1.41018 1.41157 1.41302 1.41448 1.41596 1.41746 1.41898 1.42053 1.42209 1.42368 1.0 81. 1.32203 1.32204 1.32207 1.32207 1.32187 1.32181 1.32173 1.32163 1.32152 1.32139 1.32124 1.32107 1.32089 1.32066 1.32042 1.31670 1.31476 1.31414 1.31535 1.31820 1.32239 1.32780 1.33433 1.34194 1.34355 1.34523 1.34693 1.34866 1.35040 1.35218 1.35400 1.35581 1.35768 1.0 82. 1.23682 1.23686 1.23696 1.23707 1.23698 1.23695 1.23689 1.23681 1.23671 1.23659 1.23645 1.23629 1.23610 1.23587 1.23562 1.23158 1.22938 1.22863 1.22994 1.23307 1.23773 1.24376 1.25106 1.25960 1.26142 1.26332 1.26524 1.26720 1.26917 1.27118 1.27325 1.27531 1.27744 1.0 83. 1.13784 1.13792 1.13810 1.13834 1.13840 1.13840 1.13837 1.13831 1.13823 1.13813 1.13801 1.13786 1.13769 1.13747 1.13723 1.13297 1.13055 1.12967 1.13103 1.13438 1.13940 1.14592 1.15385 1.16316 1.16515 1.16723 1.16933 1.17148 1.17365 1.17587 1.17814 1.18042 1.18277 1.0 84. 1.02604 1.02615 1.02644 1.02681 1.02703 1.02707 1.02707 1.02705 1.02700 1.02692 1.02683 1.02670 1.02655 1.02635 1.02612 1.02174 1.01914 1.01814 1.01952 1.02302 1.02829 1.03518 1.04358 1.05350 1.05562 1.05785 1.06009 1.06241 1.06473 1.06711 1.06956 1.07202 1.07455 1.0 85. 0.89683 0.89698 0.89737 0.89789 0.89830 0.89838 0.89842 0.89843 0.89842 0.89838 0.89832 0.89822 0.89811 0.89793 0.89772 0.89339 0.89067 0.88957 0.89092 0.89446 0.89983 0.90687 0.91550 0.92572 0.92793 0.93023 0.93256 0.93497 0.93738 0.93986 0.94242 0.94499 0.94763 1.0 86. 0.75170 0.75188 0.75235 0.75301 0.75359 0.75370 0.75379 0.75384 0.75387 0.75387 0.75384 0.75379 0.75372 0.75358 0.75341 0.74935 0.74665 0.74550 0.74674 0.75014 0.75533 0.76219 0.77060 0.78063 0.78280 0.78507 0.78737 0.78975 0.79214 0.79460 0.79713 0.79969 0.80232 1.0 87. 0.57560 0.57580 0.57634 0.57709 0.57781 0.57796 0.57809 0.57818 0.57824 0.57829 0.57830 0.57830 0.57827 0.57819 0.57808 0.57467 0.57221 0.57110 0.57212 0.57509 0.57965 0.58573 0.59323 0.60219 0.60414 0.60618 0.60825 0.61040 0.61257 0.61479 0.61709 0.61941 0.62181 1.0 88. 0.41389 0.41408 0.41459 0.41530 0.41604 0.41620 0.41633 0.41644 0.41653 0.41660 0.41665 0.41667 0.41668 0.41664 0.41657 0.41387 0.41179 0.41080 0.41160 0.41403 0.41780 0.42283 0.42905 0.43655 0.43818 0.43990 0.44164 0.44344 0.44528 0.44715 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