Table 1 Auger transitions and values of parameters used in calculations of the backscattering factor _____________________________________________________________________________________ Kinetic energy Ionization energy Pure element Atomic number Auger transition (keV) (keV) _____________________________________________________________________________________ Al 13 LVV 0.068 0.072 _____________________________________________________________________________________ Table 2 The backscattering factors for quantitative analysis by auger electron spectroscopy(AES) ____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ Emission angle (deg) Primary energy Incident angle __________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ (keV) (deg) 0. 5. 10. 15. 20. 21. 22. 23. 24. 25. 26. 27. 28. 29. 30. 40. 45. 50. 55. 60. 65. 70. 75. 80. 81. 82. 83. 84. 85. 86. 87. 88. 89. ____________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________ 1.0 0. 1.75414 1.75526 1.75417 1.75212 1.74937 1.74871 1.74812 1.74746 1.74666 1.74591 1.74512 1.74430 1.74346 1.74247 1.74159 1.73122 1.72516 1.71860 1.71176 1.70474 1.69773 1.69123 1.68549 1.68087 1.68023 1.67935 1.67878 1.67823 1.67831 1.67737 1.67742 1.67704 1.67631 1.0 10. 1.75469 1.75574 1.75470 1.75267 1.74995 1.74931 1.74874 1.74808 1.74729 1.74656 1.74578 1.74497 1.74415 1.74317 1.74231 1.73211 1.72617 1.71971 1.71301 1.70611 1.69923 1.69286 1.68724 1.68273 1.68209 1.68123 1.68068 1.68014 1.68023 1.67931 1.67937 1.67898 1.67826 1.0 20. 1.77131 1.77243 1.77135 1.76932 1.76659 1.76593 1.76535 1.76470 1.76390 1.76316 1.76237 1.76156 1.76073 1.75974 1.75888 1.74860 1.74261 1.73612 1.72937 1.72244 1.71554 1.70914 1.70350 1.69896 1.69834 1.69748 1.69692 1.69638 1.69646 1.69554 1.69559 1.69522 1.69450 1.0 30. 1.78683 1.78795 1.78687 1.78483 1.78209 1.78143 1.78085 1.78019 1.77939 1.77864 1.77786 1.77703 1.77620 1.77521 1.77434 1.76400 1.75796 1.75142 1.74460 1.73761 1.73063 1.72415 1.71844 1.71385 1.71321 1.71235 1.71178 1.71124 1.71131 1.71039 1.71044 1.71006 1.70932 1.0 40. 1.81098 1.81210 1.81103 1.80899 1.80625 1.80559 1.80500 1.80435 1.80355 1.80280 1.80202 1.80119 1.80036 1.79937 1.79849 1.78812 1.78206 1.77548 1.76860 1.76155 1.75450 1.74795 1.74218 1.73753 1.73689 1.73601 1.73543 1.73488 1.73496 1.73403 1.73407 1.73368 1.73294 1.0 45. 1.82036 1.82150 1.82044 1.81842 1.81572 1.81506 1.81449 1.81384 1.81305 1.81231 1.81153 1.81071 1.80990 1.80891 1.80804 1.79774 1.79170 1.78514 1.77826 1.77119 1.76410 1.75751 1.75169 1.74699 1.74634 1.74545 1.74487 1.74430 1.74439 1.74345 1.74349 1.74310 1.74237 1.0 50. 1.82832 1.82940 1.82840 1.82647 1.82389 1.82326 1.82271 1.82209 1.82133 1.82063 1.81989 1.81910 1.81832 1.81737 1.81654 1.80664 1.80081 1.79444 1.78777 1.78088 1.77394 1.76747 1.76175 1.75712 1.75648 1.75560 1.75502 1.75447 1.75455 1.75362 1.75367 1.75328 1.75257 1.0 60. 1.82206 1.82299 1.82222 1.82070 1.81868 1.81819 1.81775 1.81726 1.81665 1.81610 1.81552 1.81487 1.81427 1.81351 1.81283 1.80477 1.79993 1.79457 1.78885 1.78287 1.77675 1.77095 1.76578 1.76155 1.76097 1.76016 1.75963 1.75910 1.75918 1.75835 1.75838 1.75801 1.75741 1.0 70. 1.73858 1.73886 1.73892 1.73886 1.73885 1.73884 1.73883 1.73878 1.73874 1.73873 1.73872 1.73865 1.73865 1.73859 1.73850 1.73750 1.73661 1.73536 1.73375 1.73183 1.72954 1.72709 1.72475 1.72271 1.72243 1.72200 1.72173 1.72140 1.72147 1.72109 1.72109 1.72088 1.72077 1.0 75. 1.61294 1.61250 1.61341 1.61489 1.61698 1.61748 1.61793 1.61837 1.61893 1.61950 1.62008 1.62066 1.62128 1.62198 1.62254 1.62939 1.63304 1.63665 1.64003 1.64315 1.64576 1.64775 1.64923 1.65023 1.65036 1.65045 1.65055 1.65057 1.65059 1.65081 1.65075 1.65080 1.65129 1.0 80. 1.34625 1.34450 1.34655 1.35025 1.35530 1.35653 1.35760 1.35878 1.36024 1.36163 1.36304 1.36458 1.36608 1.36790 1.36945 1.38819 1.39899 1.41055 1.42239 1.43434 1.44594 1.45643 1.46541 1.47256 1.47355 1.47479 1.47565 1.47644 1.47632 1.47775 1.47762 1.47824 1.47967 1.0 81. 1.26875 1.26667 1.26894 1.27311 1.27878 1.28015 1.28136 1.28269 1.28435 1.28591 1.28749 1.28924 1.29092 1.29299 1.29476 1.31613 1.32858 1.34201 1.35591 1.37006 1.38397 1.39673 1.40774 1.41658 1.41780 1.41937 1.42045 1.42147 1.42130 1.42306 1.42292 1.42369 1.42535 1.0 82. 1.17809 1.17567 1.17813 1.18271 1.18890 1.19041 1.19171 1.19320 1.19502 1.19673 1.19846 1.20039 1.20224 1.20452 1.20649 1.23020 1.24414 1.25931 1.27515 1.29141 1.30758 1.32256 1.33562 1.34617 1.34763 1.34953 1.35084 1.35210 1.35188 1.35398 1.35384 1.35473 1.35661 1.0 83. 1.07510 1.07232 1.07489 1.07978 1.08634 1.08794 1.08932 1.09091 1.09287 1.09467 1.09652 1.09858 1.10055 1.10298 1.10511 1.13064 1.14579 1.16240 1.17993 1.19805 1.21630 1.23340 1.24843 1.26065 1.26235 1.26461 1.26614 1.26764 1.26736 1.26980 1.26967 1.27071 1.27272 1.0 84. 0.96061 0.95749 0.96011 0.96521 0.97200 0.97365 0.97507 0.97675 0.97880 0.98065 0.98259 0.98472 0.98677 0.98931 0.99156 1.01840 1.03446 1.05223 1.07115 1.09086 1.11095 1.12997 1.14685 1.16064 1.16258 1.16518 1.16692 1.16866 1.16832 1.17109 1.17097 1.17213 1.17424 1.0 85. 0.83088 0.82744 0.83001 0.83516 0.84195 0.84361 0.84502 0.84672 0.84879 0.85065 0.85260 0.85474 0.85681 0.85937 0.86167 0.88897 0.90547 0.92388 0.94367 0.96448 0.98598 1.00656 1.02500 1.04015 1.04228 1.04521 1.04715 1.04911 1.04871 1.05177 1.05168 1.05294 1.05504 1.0 86. 0.68860 0.68498 0.68735 0.69230 0.69874 0.70032 0.70165 0.70331 0.70529 0.70704 0.70893 0.71096 0.71295 0.71540 0.71763 0.74401 0.76011 0.77824 0.79795 0.81885 0.84076 0.86196 0.88118 0.89704 0.89929 0.90244 0.90451 0.90658 0.90616 0.90939 0.90932 0.91065 0.91258 1.0 87. 0.52098 0.51742 0.51937 0.52368 0.52922 0.53061 0.53170 0.53315 0.53488 0.53634 0.53809 0.53976 0.54157 0.54361 0.54561 0.56880 0.58305 0.59934 0.61727 0.63654 0.65716 0.67738 0.69608 0.71154 0.71359 0.71689 0.71895 0.72100 0.72048 0.72390 0.72384 0.72486 0.72663 1.0 88. 0.36929 0.36626 0.36772 0.37131 0.37574 0.37684 0.37781 0.37901 0.38039 0.38159 0.38299 0.38437 0.38580 0.38752 0.38917 0.40821 0.42006 0.43369 0.44886 0.46530 0.48319 0.50083 0.51742 0.53117 0.53307 0.53605 0.53788 0.53972 0.53949 0.54225 0.54222 0.54346 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